近年，在我们的各行业里都对空气的相对湿度有(yǒu)严格的规定，使我们必需在无尘車(chē)间配置除湿机、加湿机。但是為(wèi)什么值得花(huā)费这么多(duō)钱用(yòng)在无尘車(chē)间、洁净室中控制相对湿度呢(ne)？道理(lǐ)很(hěn)简单！让我们先来了解下什么叫无尘車(chē)间：

无尘車(chē)间指将一定空间范围内之空气中的微粒子、有(yǒu)害空气、细菌等之污染物(wù)排除，并将室内之温度、湿度、洁净度、室内压力、气流速度与气流分(fēn)布、噪音振动及照明、静電(diàn)控制在某一需求范围内，而所给予特别设计之房间。亦即是不论外在之空气条件如何变化，其室内均能(néng)俱有(yǒu)维持原先所设定要求之洁净度、温湿度及压力等性能(néng)之特性。

湿度控制是无尘車(chē)间生产必需具备的重要条件，相对湿度是无尘車(chē)间、洁净室运作过程中一个常用(yòng)的环境控制条件。半导體(tǐ)无尘車(chē)间、洁净室中的典型的相对湿度的目标值大约控制在30至50%的范围内，允许误差在±1%的狭窄的范围内，例如光刻區(qū)或者在遠(yuǎn)紫外線(xiàn)处理(lǐ)(DUV)區(qū)甚至更小(xiǎo)而在其他(tā)地方则可(kě)以放松到±5%的范围内。

因為(wèi)相对湿度有(yǒu)一系列可(kě)能(néng)使洁净室总體(tǐ)表现下降的因素，其中包括：
1、细菌生長(cháng)；
2、工作人员感到室温舒适的范围；
3、出现静電(diàn)荷；
4、金属腐蚀；
5、水汽冷凝；
6、光刻的退化；
7、吸水性。

细菌和其他(tā)生物(wù)污染(霉菌，病毒，真菌，螨虫)在相对湿度超过60%的环境中可(kě)以活跃地繁殖。一些菌群在相对湿度超过30%时就可(kě)以增長(cháng)。在相对湿度处于40%至60%的范围之间时，可(kě)以使细菌的影响以及呼吸道感染降至最低。相对湿度在40%至60%的范围同样也是人类感觉舒适的适度范围。湿度过高会使人觉得气闷，而湿度低于30%则会让人感觉干燥，皮肤破裂，呼吸道不适以及情感上的不快。

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